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基板

各種ガラス、金属等

表面処理

AL、Cr、Cu、Au等の各種金属膜コーティング、誘電体膜コーティング、ガラスエッチング、サンドブラスト処理等

パターニング法

薄膜エッチング、リフトオフ、ガラスエッチング、サンドブラスト等

この製品について

今や、微細加工技術の1つとして、レーザビームを用いた加工処理は一般的となり、また、それを行う為の装置関連も飛躍的な進歩を遂げています。いままで当社では、そのような装置の部品としての光学製品を供給してまいりました。 特に、パターニング処理を施した反射ミラーであるレーザ用マスクは、パッケージ等へのマーキング及び微細穴あけ加工等の用途として多用されています。フォトファブリケーションを駆使した製品ですので、ファインパターンを形成出来る事が特徴です。

■製品例

・各種半導体レーザ用全反射ミラー ・ハーフミラー ・YAGレーザマーキング用ガラスマスク ・エキシマレーザ加工機用ガラスマスク等

  • 型番

    各種レーザーマスク&ミラー

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MEMS 各種レーザーマスク&ミラー 各種レーザーマスク&ミラーの性能表

商品画像 価格 (税抜) 基板 表面処理 パターニング法
要見積もり 各種ガラス、金属等 AL、Cr、Cu、Au等の各種金属膜コーティング、誘電体膜コーティング、ガラスエッチング、サンドブラスト処理等 薄膜エッチング、リフトオフ、ガラスエッチング、サンドブラスト等

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直径 mm

10 - 20 20 - 40 40 - 100

厚さ mm

2 - 4 4 - 8 8 - 10

対応波長 nm

1,000 - 2,000 2,000 - 11,000

入射ビーム2θ mm

0 - 2 2 - 7 7 - 10

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