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マクロ欠陥検査装置 ED-Scope-フォトニックインストゥルメンツ株式会社

ED-Scope | マクロ欠陥検査装置 ED-Scope
フォトニックインストゥルメンツ株式会社

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返答時間

29.9時間

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本体部ユニット構成

高解像度マクロレンズ、デジタルCMOSカメラ、特殊照明部、微動チルト試料台

PC部ユニット構成

PC (windows10) 、液晶モニタTFTワイド28インチ

観察仕様

反射光 (表面欠陥) /透過光観察 (内部欠陥)

解像度

500万画素CMOSカメラ (2/3インチ、2,448 x 2,048画素)

フレームレート

35フレーム/秒 (MAX) ：静止画 (BMP/JPG) 、動画 (MPG)

電源

DC+5V (500mA) ：ACアダプタ

光学系視野範囲

最小約136mm (水平) ×115mm (垂直) 最大約34mm (水平) ×28mm (垂直)

光源 (LED 3W)

3W、平均寿命約25,000h (使用方法環境に依存) 、光量絞り 0~8段階

ED特殊画像処理

複数の画像DATAを使った特殊な画像処理ソフトウエア

ED処理自動制御機構

フォーカス機構をPCよりモータ自動制御・設定

供給電源

AC100V (PC・モニター) ・ACアダプター (光源：DC5V) ・CMOSカメラ：DC5V:USB3.0 AC100 (モーター) ・DC24V (モータードライバー)

寸法

300 (W) x 470 (D) x 990 (H) mm

重量

約30Kg

この製品について

ED-Scopeは、光学ガラスの素板や薄膜、ウエハなどの表面欠陥や内部欠陥を可視化するための装置です。通常、目視で検査を行う工程では作業者の能力による誤差やヒューマンエラーが発生し、安定した検査結果を得ることが困難です。そこで、特殊光学系・CMOSカメラ・特殊画像処理ソフトウエアを組み合わせたED-Scopeを用いて人の目視で確認しにくい微細な欠陥を広い視野で可視化することで、検査精度を向上し、異なる作業者間の誤差を低減します。出荷検査や受け入れ検査で使用し、歩留まり・品質向上に貢献します。

■検査対象

透過サンプル：光を透過するサンプル (ガラス、水晶、サファイア、樹脂フィルム等) のキズ・膜ムラ・研磨痕などの表面欠陥や脈理や成長縞のような内部欠陥。反射サンプル：光を透過しないサンプル (シリコンウエハなど) のウオータマーク・ディンプ ル・薄膜のムラ・液ダレ・ソーマーク・クラック・スクラッチなどの表面欠陥。

■表面欠陥 (ガラス、水晶、サファイア等の光学ガラスの素板の表面欠陥)

・オレンジピール (研磨面に生じた、丸みを帯びた無数の凹凸 ・研磨痕 ・面ダレ (研磨時に素板端面部が意図されずに多く削られた状態。) ・接着痕

■内部欠陥 (ガラス、水晶、サファイア等の光学ガラスの素板)

・脈理 (欠陥の一種。周りの正常な屈折率と違う屈折率が局所的に生じる。) ・成長縞 (結晶成長に見られる縞) ・双晶 (双晶境界は面欠陥。)

■シリコンウエハの表面欠陥

・ウォーターマーク ・研磨痕 ・薄膜ムラ ・パターン欠陥

■原理

V-Scopeの観察原理は特殊な照明方法です。点光源から照射された光束を2枚の鏡を用いて理想的な平行光束を作り出し、観察サンプルを透過させます。透過した光束は最下部のミラーから反射されて再び観察サンプルを透過しカメラに結像されます。このとき、サンプルにキズや脈理などにより屈折率の差が発生していると、それが影となり画像表示されます。反射サンプルの場合は、サンプル自身が鏡の役割になり、カメラに結像します。

  • 型番

    ED-Scope

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マクロ欠陥検査装置 ED-Scope ED-Scopeの性能表

商品画像 価格 (税抜) 本体部ユニット構成 PC部ユニット構成 観察仕様 解像度 フレームレート 電源 光学系視野範囲 光源 (LED 3W) ED特殊画像処理 ED処理自動制御機構 供給電源 寸法 重量
マクロ欠陥検査装置 ED-Scope-品番-ED-Scope 要見積もり 高解像度マクロレンズ、デジタルCMOSカメラ、特殊照明部、微動チルト試料台 PC (windows10) 、液晶モニタTFTワイド28インチ 反射光 (表面欠陥) /透過光観察 (内部欠陥) 500万画素CMOSカメラ (2/3インチ、2,448 x 2,048画素) 35フレーム/秒 (MAX) ：静止画 (BMP/JPG) 、動画 (MPG) DC+5V (500mA) ：ACアダプタ 最小約136mm (水平) ×115mm (垂直)
最大約34mm (水平) ×28mm (垂直) 		3W、平均寿命約25,000h (使用方法環境に依存) 、光量絞り 0~8段階 複数の画像DATAを使った特殊な画像処理ソフトウエア フォーカス機構をPCよりモータ自動制御・設定 AC100V (PC・モニター) ・ACアダプター (光源：DC5V) ・CMOSカメラ：DC5V:USB3.0
AC100 (モーター) ・DC24V (モータードライバー) 		300 (W) x 470 (D) x 990 (H) mm 約30Kg

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この商品の取り扱い会社情報

フォトニックインストゥルメンツ株式会社

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会社概要

フォトニックインストゥルメンツ株式会社は2000年に設立された、レーザー顕微鏡製品等の光学機器、測定器、分析機器の輸入・製造・販売や、特注システムの製造販売およびソフトウェア開発を行う企業です。 ドイツ、カナダ、ア...

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