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水冷式スパッタDC電源 GSWシリーズ 10kW-30kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

GSWシリーズは、並列接続で、出力は最大240kWまで拡張可能です。特殊な回路設計により、「マスターースレイブ」の仲介システムは別途不要です。室温調整が不十分な室内でも、その高効率な水冷システムは、高い信頼性を保証いたします。 この電源は、フロントパネル、あるいはコントロールインターフェースを介したリモート、いずれからも制御可能です。究極に高速なアーク制御システムは、完全自動で動作し、あらゆるプロセスにおいて最適に順応します。

■特徴

・出力:10kW-30kW (全22モデル) ・並列接続:総出力240kWまで接続可能 ・冷却方式:水冷 ・バルブ制御:マグネティックバルブ (オプション) ・寸法:幅445mm (19インチ) x高さ132.5mm (3HU) x奥行788mm ・出力:フローティング出力 ・アーク制御:完全自動

■GSW、空冷板付きオプション

粉塵分離機能を備えた空冷板は、工場現場の過酷な環境での使用を想定して設計しました。専用空冷板は、オプションパーツとしてお求め頂けます。 ※ほかにも型番がございます。

  • 型番

    GSW150/1000 (06Z100)

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水冷式スパッタDC電源 GSWシリーズ 10kW-30kW GSW150/1000 (06Z100) の性能表

商品画像 価格 (税抜) 出力
水冷式スパッタDC電源 GSWシリーズ 10kW-30kW-品番-GSW150/1000 (06Z100) 要見積もり 15kW 1000V 25A

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出力電圧 V

0 - 10 10 - 40 40 - 100 100 - 200 200 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 25,000

出力電流 A

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 600 600 - 2,000

入力電圧 V

80 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

定格電力 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 150

リップルノイズ mV

0 - 5 5 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,600

負荷変動率 mA

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 200 200 - 300

チャンネル数

0 - 3 3 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県

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