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水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

幅218mm、高さ222mmという、非常に小型な設計は、特にキャビネットを必要とせず、直接装置に組み込む選択も可能です。HXシリーズは、マウンティングフランジを備えており、プラズマチャンバーのいかなる場所にも設置できます。その制御ディスプレイは、表示角度を調節でき、また必要に応じ、本体から切り離すことも可能です。 効率的な水冷システムは、空調が効いていない環境でも高い信頼性を発揮します。冷却水の凝集を防ぐため、内蔵の温度制御デバイスを介し、エクスターナル磁気バルブを接続可能です。 総出力は、並列接続で、280kWまで拡張可能です。特殊な回路設計は、マスターースレイブ運用はもちろん、インターフェースコンバイナー、あるいはPLCを介しての並列接続も可能です。その究極に早いアーク制御は、完全自動で実施される為、ユーザーでの細かいパラーメータ設定は一切不要です。

■特徴

・出力15kWから35kWまで全15モデル ・並列接続で280kWまで拡張可能 ・水冷冷却 ・マグネティックバルブ制御 ・粉塵除去換気機構内蔵 ・高さ222mmx幅218mmx奥行645mm ・フランジ搭載可能 ・クレーンアイを接続するためのM8メネジ ・角度可変並びに分離可能なディスプレイ ・完全自動アーク制御 このAM2/3は、同シリーズの同型DC電源 (GX、HX、GSW) 、3台までをパラレル接続し出力を拡張できます。その際のコントローラーはひとつに統合されます。またこれらのDC電源は、パルスジェネレーターとも連携でき、このAM2/3インターフェースコンバイナーを介して一括して制御可能となります。例えば、HX350 /800の場合であれば、中心周波数で、105kWまで拡張可能です。 MS4インターフェースコンバイナーは、同型のパワーサプライを、4台までマスターースレイブ接続可能にします。例えば、4台のHX350を連携させた場合、140kWまで出力を拡張できます。出力がそれでも不十分の場合、S4インターフェースエクステンションを用いれば、最大8台までの電源を連携でき、その場合は、280kWまで出力拡張可能です。 また、パルスジェネレータとも連携接続可能で、MS4インターフェースコンバイナー経由で一括制御可能となります。この場合、中心周波数で、280kWまで拡張可能です。 ※ほかにも型番がございます。

  • 型番

    HX200/800 (13Z110)

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水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW HX200/800 (13Z110) の性能表

商品画像 価格 (税抜) DC-出力
水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX200/800 (13Z110) 要見積もり 20kW 800V 40A

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出力電圧 V

0 - 10 10 - 40 40 - 100 100 - 200 200 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 25,000

出力電流 A

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 600 600 - 2,000

入力電圧 V

80 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

定格電力 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 150

リップルノイズ mV

0 - 5 5 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,600

負荷変動率 mA

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 200 200 - 300

チャンネル数

0 - 3 3 - 15

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  • 本社所在地: 千葉県

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