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スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

SD301/500 | スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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ADL社のDC電源と組み合わせることにより、SD151/SD301及びSD351は、より早い放電の為に、リバースパルスを伴ったユニポーラパルスを生成します。リバースパルスを用いる事により、非常に高速で、完全自動のアークサープレッションが、リバースパルスを用いないSD150/SD300に比べ、約50％アークエネルギーを低下させます。 このジェネレータは、20kHz固定の周波数で動作します。一方で、外部にシグナルジェネレータを接続すれば、1kHzから40kHzまで可変できるようになります。またコントロールケーブルを介して、最大8台までのパルスジェネレータを自動で同期可能です。 SD151、SD301、SD351に搭載している最新の電子機器は、ディレイタイムを最小化させ、その結果として、例え高電圧の出力のパワーサプライが、並列接続で使用されたとしても、マスターオシレーター無しで、正確に同調させます。

■特徴

・リバースパルス ・出力は15kW、30kW、35kW ・280kWまで並列接続可能 ・自動アーク制御 ・空冷 ・コンパクトデザイン、1/2 19インチー3ハーフラック ・フローティング出力

  • 型番

    SD301/500

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スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW SD301/500の性能表

商品画像 価格 (税抜) パーツ番号 パルス出力 (kHz) パルス出力 (V) パルス出力 (kW)
スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW-品番-SD301/500 要見積もり 11Z047 20kHz 500V 30kW

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