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スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

HXB900 | スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW
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この製品について

MF/バイポーラパルスジェネレータHXB900からHXB1400は、一つのキャビネットで、大きな出力、コンパクトデザイン、及び高速アーク制御を実現します。このバイポーラパルスジェネレータは、特にカソード長さ4mまでの、反応性スパッタプロセスの為に設計されております。 本機は、デュアルカソードにおける左右のカソードへ均等にパワーを配分する自動シンメトリック機能と、意図的に10：90％まで配分パワーを調整するパワー比制御機能を備えます。それにより、成膜品質と、ターゲットのライフを最適化します。このジェネレータは、完全自動ですべての関連プロセスパラメータを認識し、絶えずアーキング検出とアーキング抑制を自動調整致します。生産開始時や、ターゲット交換時においても、一切オペレーターがパラメータ調整をする必要はありません。また、強力な水冷機構は、気温調整されていない環境下においても、高い信頼性を保証します。

■特徴

・出力が90kWから140kWまで ・水冷 ・反応性スパッタ ・長さ4mまでのカソードに対応 ・自動シンメトリック調整システム ・10：90までの左右非対称パワー比コントロール ・完全自動アーク制御 (0.3 mJ / kW)

  • 型番

    HXB900

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スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW HXB900の性能表

商品画像 価格 (税抜) DC-出力 (kHz) DC-出力 (+/–V) DC-出力 (W) 品番
スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW-品番-HXB900 要見積もり 20kHz 800V 90 kW

14Z210


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使用用途

#DC電源連携 #アーク制御 #スパッタ #ターゲットライフ #タイミング制御 #トリガー信号源 #機器同期 #広帯域スペクトル生成

電源電圧 V

-10 - 0 0 - 10 10 - 20 20 - 30

回転トルク mN・m

0 - 20 20 - 40 40 - 80

使用温度範囲 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

パルス幅 μs

0 - 200 200 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,400

製品重量 g

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