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返答率
100.0%
返答時間
7.0時間
静止基板用 内部のマグネットバーが首ふり扇風機のように左右に揺動する。 このカソードを複数本並べる事によって、静止した基板に対し、±1%以下の分布と、ロータリーカソードの利点である使用効率70%以上を同時に実現。
型番
Swing Cathode| 商品画像 | 価格 (税抜) | 対応ターゲット長さ | 投入可能最大パワー | 専用モーター及び専用ベルト | 水平・垂直搭載 |
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要見積もり | 4,000mmまで | 200kW at DC/ 80kHz at MFAC | 含む | 両方可能 |