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ロータリーカソード サイドマウント型 エンドブロック-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパンの対応状況

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型番説明

静止基板用 内部のマグネットバーが首ふり扇風機のように左右に揺動する。 このカソードを複数本並べる事によって、静止した基板に対し、±1%以下の分布と、ロータリーカソードの利点である使用効率70%以上を同時に実現。

全型番で同じ値の指標

専用モーター及び専用ベルト

含む

水平・垂直搭載

両方可能

マグネット角度

360度自由に調整可能

この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85%以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

  • 型番

    Swing Cathode

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ロータリーカソード サイドマウント型 エンドブロック Swing Cathodeの性能表

商品画像 価格 (税抜) 対応ターゲット長さ 投入可能最大パワー 専用モーター及び専用ベルト 水平・垂直搭載
ロータリーカソード サイドマウント型 エンドブロック-品番-Swing Cathode 要見積もり 4,000mmまで 200kW at DC/ 80kHz at MFAC 含む 両方可能

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパンは、スパッタリング関連製品の販売とサポートを行う企業です。 米国Sputtering Components Inc.社の日本販売拠点として2015年に設立され、ロータリーカソ...

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  • 本社所在地: 千葉県
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