■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

型番
Compact-MC

シリーズ
ロータリーカソードドロップイン型エンドブロック

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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ロータリーカソードドロップイン型エンドブロック Compact-MCの性能表

商品画像	価格 (税抜)	エンドブロック幅	対応ターゲット長さ	投入可能最大パワー	TTS調整	アウトボードサポートブロック	専用モーター及び専用ベルト	水平・垂直搭載	マグネット角度	タイプ
	要見積もり	125mm	2,500mmまで	100kW at DC/ 80kHz at MFAC	スペーサーを挟むことにより可能	含む	含む	両方可能	360度10度刻みで調整可能	cMC 中型基板用

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Compact-MC | ロータリーカソード ドロップイン型 エンドブロック 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

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