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コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

271.1時間

全型番で同じ値の指標

質量分離方式

四重極型質量分析計

質量数範囲

1~50 amu

検出器

ファラデーカップ

感度

0.1uA/Pa

最小検知分圧

1x10^-7Pa

最大使用圧力

2Pa

リニアリティ

1Pa

全圧測定機能

あり

One Clickリークチェック機能

あり/He/H2O/N2/O2/Any gas

電源電圧

DC24V±10%、50W

最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時)

120℃

最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時)

250℃

使用温度範囲

10~40℃

ソフトウェア

Qulee QCS Ver.4.0以降 (Windows 7, 8, 10対応)

通信インターフェース

Ethernet通信対応

適合規格

CE

分解能

M/△M=1M (10% P.H.)

この製品について

■概要

高圧下 (1Pa以下) での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ (RGA) です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理 (品質向上、歩留まり向上) に最適です。

■用途

・スパッタリング装置の残留ガス分析、プロセスモニタ、不純物 (H2O) 管理に ・各種真空装置のリークテストに

■特長

・Ethernet通信の対応 ・表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能 ・簡単操作 - One Click機能・・・だれにでも簡単、複雑な操作は不要 ・プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要・・・1Pa以下測定可能、省スペース化可能 ・リークテスト機能の充実 ・全圧測定が可能 ・Qulee QCSソフトウエアが標準搭載 ・CE標準対応

  • 型番

    CGM2-051

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コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ CGM2-051の性能表

商品画像 価格 (税抜) 質量分離方式 質量数範囲 検出器 感度 最小検知分圧 最大使用圧力 リニアリティ 全圧測定機能 One Clickリークチェック機能 電源電圧 最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時) 最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時) 使用温度範囲 ソフトウェア 通信インターフェース 適合規格 分解能
コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ-品番-CGM2-051 要見積もり 四重極型質量分析計 1~50 amu ファラデーカップ 0.1uA/Pa 1x10^-7Pa 2Pa 1Pa あり あり/He/H2O/N2/O2/Any gas DC24V±10%、50W 120℃ 250℃ 10~40℃ Qulee QCS Ver.4.0以降 (Windows 7, 8, 10対応) Ethernet通信対応 CE M/△M=1M (10% P.H.)

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測定範囲 ppm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000

質量数範囲 amu

1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

分析時間 秒

50 - 100 100 - 150

質量分解能 M/ΔM

0 - 1 1 - 2

動作温度範囲 ℃

-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150

電源・電圧 V

0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240 240 - 270

応答速度 sec

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50

使用ガス

ヘリウム 窒素 高純度水素 精製空気 酸素

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

271.1時間

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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