PRC-003A | メカニカルブースターポンプ PRCシリーズ Ver.A
アルバック販売株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

336.9時間

全型番で同じ値の指標

最大排気速度 m3/h (L/min)

50Hz：280 (4,670) 60Hz：330 (5,500)

最大吸入圧力 Pa

50Hz：1.2x10^3 60Hz：9.3x10^2

最大許容圧力差 Pa

50Hz：4.0x10^3 60Hz：3.3x10^3

到達圧力 *1 Pa

4.0x10^-1 *1 ピラニ真空計での測定 (補助ポンプ、使用油は標準) 。マクライド真空計では4.0×10^-2Paになります。

駆動可能圧力 Pa

~1.0x10^5 (大気圧駆動型)

モータ出力 (極数) *2 kW

0.75 (2) *2 AC200V (50Hz/60Hz) 、AC220V (60Hz) 、3相

使用油 *3

ULVOIL R-4 *3 オプションで合成油：R-7000、フッ素油：J25Fが選定できます。

所要油量 L

0.7

冷却方式

水冷

冷却水一時側圧力 MPa

0.3

冷却水出入口差圧 MPa

0.01以上

冷却水冷却水量 L/min

冷却水冷却水温度 *4 ℃

5~30 *4 冷却水温が低い場合は、結露しない環境でご使用ください。

吸気口径 JIS-B-2290

VG80相当

排気口径 JIS-B-2290

VF80相当

外形寸法 (W×D×H) mm

296×575×260

質量 *5 kg

51 *5 標準ポンプの値。 (オプション：インバータは含まず)

標準補助ポンプ *6

VD601 *6 標準補助ポンプの性能によりメカニカルブースタポンプの性能が変化します。上記データは、標準補助ポンプと組み合わせた場合の値です。

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この製品について

■概要PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースターポンプです。キャンドモータを採用することにより軸シール部からの油漏れが起こりません。オプションで大気圧駆動型も選べます。

■用途・蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
・真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
・分析機器、リークテスト装置
・ガス置換、充填、真空断熱
・熱処理炉、溶解炉
・その他各種真空装置

■オイルフリーケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。

■キャンドモータ採用キャンドモータを採用することで、大気/真空のメカニカルシールをなくすことができました。油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただけます。

■耐腐食性に優れた表面処理主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。オプションで表面処理無も用意しています。

■排気時間短縮に有効な大気圧駆動型 (オプション：インバータ) 粗引ポンプとの同時起動が可能なため、標準型に比べ排気時間が短縮できます。

型番
PRC-003A

シリーズ
メカニカルブースターポンプ PRCシリーズ Ver.A

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

ポンプ

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ポンプ

メカニカルブースターポンプ

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メカニカルブースターポンプ PRCシリーズ Ver.A PRC-003Aの性能表

商品画像	価格 (税抜)	最大排気速度 m3/h (L/min)	最大吸入圧力 Pa	最大許容圧力差 Pa	到達圧力 *1 Pa	駆動可能圧力 Pa	モータ出力 (極数) *2 kW	使用油 *3	所要油量 L	冷却方式	冷却水一時側圧力 MPa	冷却水出入口差圧 MPa	冷却水冷却水量 L/min	冷却水冷却水温度 *4 ℃	吸気口径 JIS-B-2290	排気口径 JIS-B-2290	外形寸法 (W×D×H) mm	質量 *5 kg	標準補助ポンプ *6	オプション
	要見積もり	50Hz：280 (4,670) 60Hz：330 (5,500)	50Hz：1.2x10^3 60Hz：9.3x10^2	50Hz：4.0x10^3 60Hz：3.3x10^3	4.0x10^-1 *1 ピラニ真空計での測定 (補助ポンプ、使用油は標準) 。マクライド真空計では4.0×10^-2Paになります。	~1.0x10^5 (大気圧駆動型)	0.75 (2) *2 AC200V (50Hz/60Hz) 、AC220V (60Hz) 、3相	ULVOIL R-4 *3 オプションで合成油：R-7000、フッ素油：J25Fが選定できます。	0.7	水冷	0.3	0.01以上	2	5~30 *4 冷却水温が低い場合は、結露しない環境でご使用ください。	VG80相当	VF80相当	296×575×260	51 *5 標準ポンプの値。 (オプション：インバータは含まず)	VD601 *6 標準補助ポンプの性能によりメカニカルブースタポンプの性能が変化します。上記データは、標準補助ポンプと組み合わせた場合の値です。	大気圧駆動 (インバータ) 、潤滑油、潤滑室別排気ポート