LSU-6010 | FPD各種部材走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能テレセンfθ レーザ直描装置
株式会社ワイ・ドライブ

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返答率

100.0%

返答時間

94.6時間

レーザスポット径 (@レーザ波長405nm)

10μm

レーザ走査幅

60mm

データ分解能

~5,080dpi

全型番で同じ値の指標

レーザ波長

375,405,650,780,830nm (半導体レーザ) 355,488,532nm (固体レーザ)

データフォーマット

ビットマップ (BMP)

フォーカスユニット (マニュアル操作)

Zステージ

フォーカス確認ユニット

CCDカメラ光学ユニット,モニター：露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ

繰り返し露光機能

ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能

基準穴位置調整機能

基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ；基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構

エアーチャックテーブル

セラミックステーブル or アルミテーブル

本体外寸

400×500×460mm

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この製品について

テレセントリックfθ レンズによるレーザ露光のため、走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能。直描装置本体部をコンパクトなサイズに納めましたので、省スペースで多品種小ロットの高精細露光に最適です。

型番
LSU-6010

シリーズ
FPD各種部材走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能テレセンfθ レーザ直描装置

取扱企業
株式会社ワイ・ドライブ

カテゴリ

半導体製造

電子ビーム描画装置

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FPD各種部材走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能テレセンfθ レーザ直描装置 LSU-6010の性能表

商品画像	価格 (税抜)	レーザ波長	レーザスポット径 (@レーザ波長405nm)	レーザ走査幅	データ分解能	データフォーマット	フォーカスユニット (マニュアル操作)	フォーカス確認ユニット	繰り返し露光機能	基準穴位置調整機能	エアーチャックテーブル	本体外寸
	要見積もり	375,405,650,780,830nm (半導体レーザ) 355,488,532nm (固体レーザ)	10μm	60mm	~5,080dpi	ビットマップ (BMP)	Zステージ	CCDカメラ光学ユニット,モニター：露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ	ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能	基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ；基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構	セラミックステーブル or アルミテーブル	400×500×460mm