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返答時間
94.6時間
データ分解能
レーザ波長
375,405,650,780,830nm (半導体レーザ) 355,488,532nm (固体レーザ)
データフォーマット
ビットマップ (BMP)
フォーカスユニット (マニュアル操作)
Zステージ
フォーカス確認ユニット
CCDカメラ光学ユニット,モニター：露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ
繰り返し露光機能
ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能
基準穴位置調整機能
基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ；基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構
エアーチャックテーブル
セラミックステーブル or アルミテーブル
本体外寸
400×500×460mm
型番
LSU-1002取扱企業
株式会社ワイ・ドライブカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | レーザ波長 | レーザスポット径 (@レーザ波長405nm) | レーザ走査幅 | データ分解能 | データフォーマット | フォーカスユニット (マニュアル操作) | フォーカス確認ユニット | 繰り返し露光機能 | 基準穴位置調整機能 | エアーチャックテーブル |
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要見積もり |
375,405,650,780,830nm (半導体レーザ) 355,488,532nm (固体レーザ) |
2μm | 10mm | ~25,400dpi | ビットマップ (BMP) | Zステージ | CCDカメラ光学ユニット,モニター：露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ | ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能 | 基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ；基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構 | セラミックステーブル or アルミテーブル |
返答率
100.0%
返答時間
94.6時間
