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エンジニアリングセラミック 窒化アルミ (ALN) -有限会社清水商会

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嵩密度 ( g/cm3)

曲げ強度 20° ( Mpa)

ヤング率 ( Gpa)

熱放射率 ( 100%)

熱伝導率 20℃ ( W/ ( m・K) )

全型番で同じ値の指標

主成分

ALN

ベージュ

吸水率 ( %)

0

硬度 ( HV) ( Gpa)

13

破壊靭性 ( Mpa・m1/2)

3

ポアソン比

0.29

線膨張係数 RT~200℃ ( ×10^-6/℃)

2.4

線膨張係数 RT~400℃

4.5

耐熱衝撃 ( ℃)

400

絶縁耐力 ( kV/mm)

15

体積抵抗率 20℃ ( Ω・cm)

>10^13

誘電率 1MHz

8.8

外形寸法

□200、□300、φ200、φ300など

板厚寸法

0.25~30mm

この製品について

■概要

窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。放熱性、絶縁性、耐熱衝撃性に優れ、基板材料としても注目されています。窒化アルミ基板にはメタライズ加工が可能です。

■特徴

・熱伝導率・熱放射率が大きく、均熱性が高い ・熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える ・電気絶縁性に優れている ・Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウエハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する ・フッ素系ガスの耐食性が大きい ・耐プラズマ性に優れている

■用途

プラズマエッチャー用部品、ウエハーチャック用部品、ステッパー用ウエハー保持冶具、ダミーウエハー、ヒーター均熱板、半導体用基板、薄膜回路基板

  • 型番

    窒化アルミ ( ALN)

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エンジニアリングセラミック 窒化アルミ (ALN) 窒化アルミ ( ALN) の性能表

商品画像 価格 (税抜) 主成分 嵩密度 ( g/cm3) 吸水率 ( %) 硬度 ( HV) ( Gpa) 曲げ強度 20° ( Mpa) 破壊靭性 ( Mpa・m1/2) ヤング率 ( Gpa) ポアソン比 線膨張係数 RT~200℃ ( ×10^-6/℃) 線膨張係数 RT~400℃ 熱放射率 ( 100%) 熱伝導率 20℃ ( W/ ( m・K) ) 耐熱衝撃 ( ℃) 絶縁耐力 ( kV/mm) 体積抵抗率 20℃ ( Ω・cm) 誘電率 1MHz 外形寸法 板厚寸法
エンジニアリングセラミック 窒化アルミ (ALN) -品番-窒化アルミ ( ALN) 要見積もり ALN ベージュ 3 0 13 350 3 320 0.29 2.4 4.5 0.9 170 400 15 >10^13 8.8 □200、□300、φ200、φ300など 0.25~30mm

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アルミナ含有率 %

90 - 95 95 - 99 99 - 100

曲げ強さ MPa

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000

熱伝導率 W/ (m・K)

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500

見掛密度/かさ密度 g/cm3

0 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 10

絶縁耐力 KV/mm

0 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 50 50 - 100

吸水率 %

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100

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  • 本社所在地: 京都府

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