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返答率
100.0%
返答時間
22.9時間
最大移動量: 回転 (パルス) モード
>360°
最小分解能: 回転 (パルス) モード
<0.05°
回転速度
約30秒~120秒/1回転 (可変) ※回転部のサイズ・形状で異なります。
回転軸偏芯度
> 100 μm (土台部)
入力: 電圧
±150 V
入力: 取り出し線
2本 (ツインペアー線)
入力: コネクタ
D-sub端子使用
回転ステージ寸法 (mm)
回転部外径: 18 mm dia. 固定部外径: 30 mm dia.
重量
< 100 g
動作環境: 真空度
大気中及び 10-2Pa ~ 10-6Pa
動作環境: 温度
4°C ~ 40°C
動作環境: 使用湿度範囲
15% ~ 80% ※但し、急激な使用環境の変化による結露条件下では使用できません。
コントローラ 入力電圧
AC 100 VAC (50/60 Hz) ※出荷前にご用命いただければ AC 110, 115, 120, 220, 240 V の各電圧に変更可能です。
コントローラ 消費電力
100 VA以下
コントローラ コントロール出力
±150 V max.
コントローラ 出力端子
D-sub9 ピンメス
コントローラ 入力端子
USB端子
コントローラ 寸法
213 (W) × 370 (D) × 100 (H) mm
コントローラ 重量
約 6 kg
コントローラ 動作環境: 使用温度範囲
5°C ~ 40°C
コントローラ 動作環境: 使用湿度範囲
15% ~ 80% ※但し、急激な使用環境の変化による結露条件下では使用できません。
型番
UMP1000R取扱企業
株式会社ユニソクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 最大移動量: 回転 (パルス) モード | 最小分解能: 回転 (パルス) モード | 回転速度 | 回転軸偏芯度 | 入力: 電圧 | 入力: 取り出し線 | 入力: コネクタ | 回転ステージ寸法 (mm) | 重量 | 動作環境: 真空度 | 動作環境: 温度 | 動作環境: 使用湿度範囲 | コントローラ 入力電圧 | コントローラ 消費電力 | コントローラ コントロール出力 | コントローラ 出力端子 | コントローラ 入力端子 | コントローラ 寸法 | コントローラ 重量 | コントローラ 動作環境: 使用温度範囲 | コントローラ 動作環境: 使用湿度範囲 |
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要見積もり | >360° | <0.05° | 約30秒~120秒/1回転 (可変) ※回転部のサイズ・形状で異なります。 | > 100 μm (土台部) | ±150 V | 2本 (ツインペアー線) | D-sub端子使用 | 回転部外径: 18 mm dia. 固定部外径: 30 mm dia. | < 100 g | 大気中及び 10-2Pa ~ 10-6Pa | 4°C ~ 40°C | 15% ~ 80% ※但し、急激な使用環境の変化による結露条件下では使用できません。 | AC 100 VAC (50/60 Hz) ※出荷前にご用命いただければ AC 110, 115, 120, 220, 240 V の各電圧に変更可能です。 | 100 VA以下 | ±150 V max. | D-sub9 ピンメス | USB端子 | 213 (W) × 370 (D) × 100 (H) mm | 約 6 kg | 5°C ~ 40°C | 15% ~ 80% ※但し、急激な使用環境の変化による結露条件下では使用できません。 |
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使用用途
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小型対応型 中型対応型 大型対応型プローブユニット構成
マルチプローブ型 プローブカード型対応ウエハサイズ mm
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