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蒸着源
ルツボ型蒸着源
加熱方式
フィラメント通電加熱方式
ルツボ容積
3 (dia.) × 6 (depth) mm (材質: アルミナ)
元素 (ルツボ) 数
シャッター機能なし: 4個、シャッター機能あり: 3個
取付フランジ
ICF70
コネクタ
10P電琉導入端子
冷却機構
水冷式ジャケット標準装備 (水量：1L/min) ※特に1,000℃以上でのご使用時では水冷は必須です。
フランジ/ルツボ先端距離
取付フランジ面からルツボヘッド先端部 (シャッターなし) まで標準100mm (ご注文時に延長のご指定可能)
ターゲット距離
ルツボヘッド先端部から100mm以上
真空チャンバ取付方向
水平面から>30°上向きに取付が必要
加熱温度範囲
700~1,700℃ (連続使用時の推奨温度700~1600℃) ※弊社製温度コントローラにて制御される場合、最高 1,600℃ (電琉：7A) ※温度計なしの仕様の場合、温度測定はできません
加熱電流
最大7.5A~14V
ベーキング温度
<200°C
材料形態
粉末・粒体・線材等ルツボ内に入るもの
材料充填量
ルツボの1/2以下を推奨 (但し取付角度に依存)
使用可能な蒸着材料
1,700℃以下で真空蒸着可能な元素、但し700℃以下で蒸発する元素は制御が困難
シャッター機能 開閉機構
回転導入機による手動開閉 (回転ストッパー付) ※L103CS/103CSシリーズに標準装備
シャッター機能 シャッター板
サイズ：34mm dia. 回転半径：30mm ※L103CS/103CSシリーズに標準装備
膜厚計機能 膜厚計素子取付位置
シャッター板面 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備
膜厚計機能 膜厚計素子
水晶振動子 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備
膜厚計機能 膜厚モニター
Inficon社製膜厚計素子用モニター (XTM/2) を標準装備 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備
型番
UE-103C取扱企業
株式会社ユニソクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 蒸着源 | 加熱方式 | ルツボ容積 | 元素 (ルツボ) 数 | 取付フランジ | コネクタ | 冷却機構 | フランジ/ルツボ先端距離 | ターゲット距離 | 真空チャンバ取付方向 | 加熱温度範囲 | 加熱電流 | ベーキング温度 | 材料形態 | 材料充填量 | 使用可能な蒸着材料 | シャッター機能 開閉機構 | シャッター機能 シャッター板 | 膜厚計機能 膜厚計素子取付位置 | 膜厚計機能 膜厚計素子 | 膜厚計機能 膜厚モニター |
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要見積もり | ルツボ型蒸着源 | フィラメント通電加熱方式 | 3 (dia.) × 6 (depth) mm (材質: アルミナ) | シャッター機能なし: 4個、シャッター機能あり: 3個 | ICF70 | 10P電琉導入端子 | 水冷式ジャケット標準装備 (水量：1L/min) ※特に1,000℃以上でのご使用時では水冷は必須です。 | 取付フランジ面からルツボヘッド先端部 (シャッターなし) まで標準100mm (ご注文時に延長のご指定可能) | ルツボヘッド先端部から100mm以上 | 水平面から>30°上向きに取付が必要 |
700~1,700℃ (連続使用時の推奨温度700~1600℃) ※弊社製温度コントローラにて制御される場合、最高 1,600℃ (電琉：7A) ※温度計なしの仕様の場合、温度測定はできません |
最大7.5A~14V | <200°C | 粉末・粒体・線材等ルツボ内に入るもの | ルツボの1/2以下を推奨 (但し取付角度に依存) | 1,700℃以下で真空蒸着可能な元素、但し700℃以下で蒸発する元素は制御が困難 | 回転導入機による手動開閉 (回転ストッパー付) ※L103CS/103CSシリーズに標準装備 | サイズ：34mm dia. 回転半径：30mm ※L103CS/103CSシリーズに標準装備 | シャッター板面 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備 | 水晶振動子 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備 | Inficon社製膜厚計素子用モニター (XTM/2) を標準装備 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備 |
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使用用途
#薄膜成膜 #真空乾燥 #真空蒸着 #真空包装 #半導体製造 #真空炉 #蒸留抽出 #研究開発到達真空度 kPa
-110 - -90 -90 - -10設計排気量 m3/h
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 6,000ポンプ排気量 L/min
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 700 700 - 1,400 1,400 - 1,900回転速度 rpm
0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 30,000 30,000 - 40,000モーター出力 kW
0 - 0.1 0.1 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5電源 V
100 - 200 200 - 300 300 - 500質量 kg
5 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300
