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HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A-XQ Instruments

パルスピークパワー (kW)

全型番で同じ値の指標

パルスオンタイム

5us-16ms

パルスオフタイム

5us-32ms

出力モード

DC-、ユニポーラ+, ユニポーラ- 及びバイポーラ

DC 電圧 (V)

1,000 V

この製品について

SPIK3000A パルスパワーコントローラーは、フローティング出力を備えるあらゆるDC電源と連携可能で、お手持ちのDC電源を、最先端のパルスパワーコントロール電源へアップグレード可能です。 SPIK3000Aは、SPIKシリーズの中で、最先端のモデルで、オン-オフタイム及び極性を選択しながら最大8パターンまでの異なるパルスを生成させるFPPGを備えています。また並列接続で、最大5台のSPIK3000Aを同期させることが可能で、最大5,000Aまで出力可能です。 SPIK3000Aは、最も安定したパルス電圧と電流を提供します。標準ではシリアル通信で制御されますが、オプションとして、様々なインターフェースへのカスタマイズも可能です。アーク制御時間は2us以下である為、基材へのダメージはほぼ発生しません。この非常に早い反応速度は、ユーザーの最終的な問題解決手段として、大きく貢献します。

■特徴

・DC – 25/50kHz パルス周波数レンジ ・高速アーク検出及び2us以下のアーク抑制 ・左右対称な電圧出力 ・FPPG (8種類までのパルスのフリーパルスパターンコントローラ) ・2xトリガー出力/1xトリガーインプット ・水冷 ・19インチx 7U ラック搭載 ・多彩なリモートインターフェース (プロフィバス/RS485)

  • 型番

    A-20

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最新の閲覧: 19時間前


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HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A A-20の性能表

商品画像 価格 (税抜) パルスオンタイム パルスオフタイム 出力モード DC パワー (kW) DC 電圧 (V) DC 電流 (A) パルスピークパワー (kW) 周波数範囲
HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A-品番-A-20 要見積もり 5us-16ms 5us-32ms DC-、ユニポーラ+, ユニポーラ- 及びバイポーラ 20 kW 1,000 V 35 A 1,000 kW DC – 25kHz

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フィルターから探す

パルス電源をフィルターから探すことができます

出力電流 A

-1 - 1 1 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500

出力電圧 V

-6,000 - 0 0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 3,000 3,000 - 50,000

パルス幅 ms

0 - 1 1 - 10 10 - 100

周波数 kHz

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 2,000

入力電圧 V

100 - 200 200 - 300 300 - 500

冷却方式

強制空冷 水冷 空冷

質量 kg

1 - 10 10 - 30 30 - 100 100 - 200

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

XQ Instrumentsは、半自動プロセス向けの革新的で特許取得済みの機器を開発し製造しています。 主にライフサイエンス/化学研究室、食品・飲料、産業、テスト、およびブティック製造アプリケーション向けの粉末ディ...

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  • 本社所在地: シンガポール

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