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返答率
100.0%
返答時間
26.7時間
クリーン度
Class 10
動作温度
20–100 ℃
チャンバーサイズ (約) W×D×H
45×45×30 cm
本体サイズ (約) W×D×H
60×71×113 cm
重量
159 kg
N2ガス消費量
最大 1.7 SCFM
プロセスガス種類
酸素、Ar、N2、水素 (7%の混合ガス) / 要相談:CF4、SF6
プロセスガス系統
3系統 (オプション 1系統増設可)
プロセスガス消費量
20 – 50 SCCM
マスフローコントローラ
オプション 最大3個
レシピ数
12レシピ
プラズマ照射時間
0 – 1,200 秒
設定分解能
1秒
RFプラズマ出力
40kHz, 0 – 1,000 W
消費電力
平均 640W、最大 1,000W
電源
単相 200 – 250V, 20A, 50/60Hz
型番
G1000シリーズ
プラズマクリーナー G1000取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | クリーン度 | 動作温度 | チャンバーサイズ (約) W×D×H | 本体サイズ (約) W×D×H | 重量 | N2ガス消費量 | プロセスガス種類 | プロセスガス系統 | プロセスガス消費量 | マスフローコントローラ | レシピ数 | プラズマ照射時間 | 設定分解能 | RFプラズマ出力 | 消費電力 | 電源 |
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要見積もり | Class 10 | 20–100 ℃ | 45×45×30 cm | 60×71×113 cm | 159 kg | 最大 1.7 SCFM | 酸素、Ar、N2、水素 (7%の混合ガス) / 要相談:CF4、SF6 | 3系統 (オプション 1系統増設可) | 20 – 50 SCCM | オプション 最大3個 | 12レシピ | 0 – 1,200 秒 | 1秒 | 40kHz, 0 – 1,000 W | 平均 640W、最大 1,000W | 単相 200 – 250V, 20A, 50/60Hz |
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