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返答率
100.0%
返答時間
27.0時間
返信の比較的早い企業
対応ウエハサイズ
~φ150mm
ステージXY移動範囲
X:210mm,Y:300mm
ステージXY繰り返し精度
<±1.5um
ステージXY位置決め精度
<±3um
ステージZ移動範囲
20mm
ステージZ繰り返し精度
<±1um
ステージθ移動範囲
±7.5°
ステージθ位置決め分解能
0.0002°
外形寸法・重量
W1,500×D1,000×H1,690mm 約670kg
型番
HSP-150 (6 inch)取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 対応ウエハサイズ | ステージXY移動範囲 | ステージXY繰り返し精度 | ステージXY位置決め精度 | ステージZ移動範囲 | ステージZ繰り返し精度 | ステージθ移動範囲 | ステージθ位置決め分解能 | 外形寸法・重量 |
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要見積もり | ~φ150mm | X:210mm,Y:300mm | <±1.5um | <±3um | 20mm | <±1um | ±7.5° | 0.0002° |
W1,500×D1,000×H1,690mm 約670kg |
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