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返答率
100.0%
返答時間
26.7時間
対応ウエハサイズ
~φ300mm
ステージXY移動範囲
X：310mm, Y：310mm
ステージXY繰り返し精度
＜±2um
ステージXY位置決め精度
＜±5um
ステージZ移動範囲
20mm
ステージZ繰り返し精度
＜±1um
ステージθ移動範囲
±7.5°
ステージθ位置決め分解能
0.0002°
システム寸法 (W×D×H)
1,700×1,200 ×1,600 mm
システム重量
約1,100kg
型番
HSP-300SC (12 inch)取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 対応ウエハサイズ | ステージXY移動範囲 | ステージXY繰り返し精度 | ステージXY位置決め精度 | ステージZ移動範囲 | ステージZ繰り返し精度 | ステージθ移動範囲 | ステージθ位置決め分解能 | システム寸法 (W×D×H) | システム重量 |
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要見積もり | ~φ300mm | X：310mm, Y：310mm | ＜±2um | ＜±5um | 20mm | ＜±1um | ±7.5° | 0.0002° | 1,700×1,200 ×1,600 mm | 約1,100kg |
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使用用途
#RF測定 #インピーダンス測定 #オプトエレクトロニクス測定 #サブテラヘルツ測定 #ハイパワー測定 #ロードプル測定 #温度特性評価 #故障解析 #信頼性試験 #微小電流測定対応ウエハサイズ mm
100 - 150 150 - 200システム重量 kg
700 - 800 800 - 900 900 - 1,100
