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XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ 9064シリーズ 9064-XY-PP-M-株式会社日本レーザー

9064-XY-PP-M | XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ 9064シリーズ 9064-XY-PP-M
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ベアリング

アルミ製 ボール ベアリング

モータ

Picomotor

駆動軸

X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ

移動量

5mm

最小移動量

<100nm

耐荷重 (水平軸)

13N

この製品について

■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ

・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフでもセット位置を保持 ・手動軸、電動軸の混成構成可能 ・30nm未満のナノポジショニング Picomotorまたはピエゾモータ使用のナノメートル分解能高精度ステージを、種々取り揃えています。

  • 型番

    9064-XY-PP-M

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XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ 9064シリーズ 9064-XY-PP-M 9064-XY-PP-Mの性能表

商品画像 価格 (税抜) ベアリング モータ 駆動軸 移動量 最小移動量 耐荷重 (水平軸)
XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ 9064シリーズ 9064-XY-PP-M-品番-9064-XY-PP-M 要見積もり アルミ製
ボール
ベアリング 		Picomotor X, Y, Z,
XY, XZ,
YZ, XYZ 		5mm <100nm 13N

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ストローク mm

-50 - 0 0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 600

最大速度 mm/s

300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000

可搬質量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10

ユニット質量 kg

0 - 1 1 - 50 50 - 450

最小移動量 nm

30 - 100 100 - 150

耐荷重 N

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 180

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会社概要

株式会社日本レーザーは、レーザーおよび光関連製品を取り扱う、レーザー専門商社です。
1968年設立、1971年に日本電子株式会社の100％出資子会社となった後、2007年には日本初のMEBOで完全独立いたしました...

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