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スキャン速度 150mm/200mm/300mm
PSLパーティクル感度
搭載基板厚さ
0.1-5mm
型番
AT1取扱企業
株式会社日本レーザーカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年3月27日にレビュー済み
顧客対応への満足度
早速のWeb会議開催のご案内を頂き、迅速な対応であった。
初回対応までの時間への満足度
0.34時間
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基板検査装置の製品144点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 最大基板サイズ | 搭載基板厚さ | スキャン速度 150mm/200mm/300mm | PSLパーティクル感度 | 自動機モデル |
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要見積もり | 300x300mm | 0.1-5mm | 225s/440s/970s |
100nm (シリコン上) 150nm (ガラス上) |
AT1-AUTO オープンカセット方式 200mmウェハ |
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