シリコン・オン・サファイア技術、及びひずみゲージを使用し、圧力を電気信号として測定する高精度、長期安定型の圧力センサーです。測定目的により各種測定器に接続し、圧力の表示、記録、制御、監視などを行います。

シリコン・オン・サファイア (SOS) 技術とは、サファイア (Al2O3単結晶) 基板上にシリコン薄膜を結晶成長 (エピタキシャル成長) させ、シリコン半導体に加工してひずみゲージを形成するものです。このシリコン半導体ひずみゲージとサファイア基板 (圧力計のダイヤフラム) とは原子レベルで結合している為、安定性に優れた圧力センサーを実現します。

■高精度ダイヤフラムの素材であるサファイアはアルミ酸化物の単結晶であり、応答性が高く、直線性とヒステリシス特性に極めて優れています。

■高信頼性シリコン半導体ひずみゲージはサファイア基板に原子結合している為、極めて安定した特性と高い信頼性を保ちます。負圧側の負荷特性も正圧側とどうレベルに維持されるので、高精度の連成圧が測定可能です。

■高耐熱性SOS技術におけるサファイア基板はそれ自体が高絶縁体であり、350℃の高温環境下でもセンサーとしての使用が可能です。

■水素ガス適合性サファイアは水素ガス適合性に優れ、透過・脆化の問題を解決します。

■用途・建設機械の油圧管理
・狭い場所などのパイプ内圧力計測
・空調装置などの冷媒圧力監視
・ガス封入容器の品質管理
・用途に応じて、サイズ、形状、仕様精度など対応可能ですので、機器組み込みセンサーとして幅広く活用されています。

ほかにも型番がございます。

型番
PRC-5MP

シリーズ
ひずみゲージ方式圧力計

取扱企業
三友電子工業株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

圧力計

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ひずみゲージ方式圧力計 PRC-5MPの性能表

商品画像	価格 (税抜)	定格容量	許容過負荷	限界過負荷	定格出力	非直線性	ヒステリシス	繰り返し性	推奨印加電圧	最大印加電圧	零バランス	入力抵抗	出力抵抗	絶縁抵抗 (ブリッジ‐本体)	温度補償範囲	許容温度範囲	零点の温度影響	出力の温度影響	コネクタ	ケーブル	保護等級	起歪体の材質	疲労寿命	固有振動数	質量
	要見積もり	5MPa	150%R.C.	300%R.C.	1.5mV/V±0.15mV/V	0.5％R.O.	0.5％R.O.	0.5％R.O.	3V以下	6V	±0.225mV/V	120±1.2Ω	120±1.2Ω	1,000MΩ以上 (DC50V)	-10℃to50℃	-10℃to75℃	0.8%R.O./10℃	0.8%LOAD/10℃	コネクタ型式：PRC03-32A10-7F10.5	Φ6.3 4芯シールド付30cm直結,先端NDI-7P-J (ジャック) 付	IP64相当 (ケーブル先端部除く)	ステンレス鋼	定格負荷で10^6回	56kHz	120g