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サファイアキャパシタンスダイヤフラムゲージ サファイア隔膜真空計-株式会社世奉

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この製品について

■特徴

・受圧部にサファイアを採用。MEMS加工技術を応用し耐デポ性能を改善した隔膜真空計です。 ・耐デポ性能向上によるダウンタイム低減 ・250℃まで使用可能、プロセスガスの高温化に対応 ・小型化によるフットプリント削減

■概要

サファイア隔膜真空計形V8は、MEMS加工技術を応用したセンサにより、耐デポ性能を改善しました。受圧部に高耐食性、高耐熱性であり機械特性にも優れた単結晶サファイアを使用し、形V8Sでは最高使用温度250℃を実現しました。

■耐デポ性能向上によるダウンタイム低減

MEMS加工技術を応用し、シフト量を1/10に改善しました。

■応力バランス構造

感圧部の外周部に厚みを持たせ、外周部と中心部にかかる応力バランスを相殺することで、感圧部が変形しにくくなりゼロ点シフトを低減。

■凸凹センサ

感圧部表面を凸凹に加工することで、付着膜を分断し堆積物の応力影響を低減。

■250℃まで使用可能、プロセスガスの高温化に対応

形V8Sでは、基板部分とセンサ部の分離や使用材料の見直しにより最高使用温度250℃を実現しました。

■小型化によるフットプリント削減

内蔵部品のスペース効率を向上させ、体積は40%減少しました。 (当社従来製品比) 。

  • 型番

    V8S

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サファイアキャパシタンスダイヤフラムゲージ サファイア隔膜真空計 V8Sの性能表

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使用用途

#冷凍空調ヒートポンプ #真空度測定 #プロセス制御 #到達圧力確認 #圧力モニタ #大気圧確認 #真空保持確認

測定範囲 Pa

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 133,000

測定圧力 Pa

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 5,000,000

精度 %

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30

使用温度範囲 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 40 40 - 50

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会社概要

"世界に奉仕しよう"という趣旨で1992年に創業して以来、工場自動化分野に必要な核心部品である自動制御機器の輸入·販売を行い、顧客の信頼を基に成長を続けてきました。 人間の目にあたる光センサーをはじめ、ビジョンセンサー、...

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  • 本社所在地: 愛知県

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