FVH-2400F/P | 除振台アクティブ除振台 (高荷重タイプ)
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脚構成脚

搭載質量範囲 Kg

20,000~30,000

ストローク mm

鉛直方向1~7/水平方向 ±2

供給圧力 (流量) MPa (L/min (ANR) )

0.6~1.0 (170以上)

消費電力 VA

1,520

固有振動数 Hz (パッシブ計算値)

鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 3.2~5.0

鉛直 (Z) 方向制御方式

位置・減衰

水平 (X・Y) 方向制御方式

位置・減衰

制御自由度

6 自由度 (X,Y,Z,θX,θY,θZ)

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この製品について

■アクティブ除振台 (高荷重タイプ)  概要弊社ベローズ式空気ばねを採用した高荷重タイプになります。高除振特性と薄型化を両立。

■優れた応答性レスポンスの良い薄膜ベローズと大流量アクチュエータにより，装置上で大きい荷重の移動ステージが動いた場合にも，ストローク変動が小さく抑えることが可能です。

■薄型形状薄型ベローズ方式を採用しているため，薄型の除振装置構造になっております。FVH-2400Fでは、高さ169mm (ニュートラル時) を実現しました。その為，搭載する装置の重心を低く抑えることが可能です．

■用途・精密装置の床振動軽減
・半導体製造装置、半導体検査装置、液晶露光装置、精密測定装置、精密加工機、その他精密機器等

■ベローズ式空気ばねについてダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発し本装置に採用しております。

型番
FVH-2400F/P

シリーズ
除振台アクティブ除振台 (高荷重タイプ)

取扱企業
藤倉コンポジット株式会社

カテゴリ

保護材・保護機器

除振台

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除振台アクティブ除振台 (高荷重タイプ) FVH-2400F/Pの性能表

商品画像	価格 (税抜)	脚構成脚	搭載質量範囲 Kg	ストローク mm	供給圧力 (流量) MPa (L/min (ANR) )	消費電力 VA	固有振動数 Hz (パッシブ計算値)	鉛直 (Z) 方向制御方式	水平 (X・Y) 方向制御方式	制御自由度
	要見積もり	4	20,000~30,000	鉛直方向1~7/水平方向 ±2	0.6~1.0 (170以上)	1,520	鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 3.2~5.0	位置・減衰	位置・減衰	6 自由度 (X,Y,Z,θX,θY,θZ)