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除振台 ベローズ式パッシブ除振台-藤倉コンポジット株式会社

FPM-100 | 除振台 ベローズ式パッシブ除振台
藤倉コンポジット株式会社

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脚構成 脚

3~4

ストローク mm

鉛直方向 ±3 / 垂直方向 ±2

固有振動数 Hz

鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 2.7~5.0

この製品について

■ベローズ式パッシブ除振台 概要

弊社ベローズ式空気ばねを採用したパッシブ除振台。高除振特性と薄型化を両立。

■高除振特性、省スペース化

ダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発しました。本ベローズを除振台に適用することで、高い除振特性を有するだけ でなく、除振台の本体の小型化や、薄肉による高い応答性を実現致しました。

■専用設計

低固有振動数調整用の外付タンクや、パッシブマウントのアクティブ化等、お客様のご要望に応じた専用設計にも対応致します。

■用途

・精密装置の床振動軽減 ・半導体製造装置、半導体検査装置、液晶露光装置、精密測定装置、精密加工機、その他精密機器等

■ベローズ式空気ばねについて

ダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発し本装置に採用しております。

■特性

低鉛直方向、水平方向の除振特性 鉛直方向、水平方向共に低く安定した固有振動数を有し、高周波領域では高い除振特性を示しています。

  • 型番

    FPM-100

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2024年10月10日にレビュー済み

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除振台 ベローズ式パッシブ除振台 FPM-100の性能表

商品画像 価格 (税抜) 脚構成 脚 搭載質量範囲 Kg ストローク mm 固有振動数 Hz
除振台 ベローズ式パッシブ除振台-品番-FPM-100 要見積もり 3~4 500~1,500 鉛直方向 ±3 / 垂直方向 ±2 鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 2.7~5.0

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