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マニュアルプローバ OYMシリーズ-雄山株式会社

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型番説明

高倍率顕微鏡を搭載したハイグレードモデルです。 重厚性のあるベース部さらに、耐荷重性に優れたポジショナステージの装備により、数ミクロンオーダ、サブミクロンといった微細な回路に対して、高精度かつ、安定したプロービングを可能にします。X-Yステージ、ウエハサンプル台はグレードアップされ、さらに顕微鏡マウントは、X-Y稼動とクイックリフトの採用でセッティング、ポジショニングが簡単に行えます。

この製品について

■特徴

OYMシリーズは、直感的に操作が可能なマニュアルのプロービングステーションです。実体や金属顕微鏡を搭載可能なプローバのラインナップがあり、ポジショナやホットチャックなど豊富なオプションからご要望の構成にてご使用いただけます。

■主な構成

・8インチストロークのXYステージ ・プラテンZステージ ・顕微鏡XYZステージ ・クイックリフト機構 ・ポジショナー、ケーブル、ニードル ・同軸アーム、同軸ケーブル ・各種顕微鏡に対応 ・卓上型防振台、据置型防振台 ・真空ポンプ ・中継コネクタ付きパネル など

■オプション品

・温調システム:ホットチャックシステム、クーリングシステム ・CCDカメラ、モニタシステム など

■サイズ

W600×D650×H800mm (ラインナップによる)

  • 型番

    OYM-430

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マニュアルプローバ OYMシリーズ OYM-430の性能表

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1,100

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この商品の取り扱い会社情報

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  • 本社所在地: 兵庫県

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