Contour GT-X | 3次元白色光干渉顕微鏡 Contour GT-X
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企業レビュー

5.0

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メーカー

ブルカージャパン (株)

測定方式

USI方式、VSI方式、PSI方式

垂直分解能

<0.01mm

段差再現性

<0.1%

使用光源

高輝度LED (白色。緑色)

最大測定速度

114μm/秒

最大測定レンジ

最大10mm

CCDカメラタイプ

標準型モノクロ 1200×1000画素、カラー (オプション)

XYステージサンプル

300mm×300mm電動 (エンコーダー制御)

Zステージ

100mm電動

Zサンプルスペース

80mm

傾斜調整

±6°電動メーションヘッド (コンピュータコントロール)

制御・解析ソフトウェア Vision64基本機能

自動調整 (光量、範囲) 、2D解析、3D解析、マルチリージョン解析、オートフォーカス、スティッチング、ステージプログラム、Vision64Map (高機能オフライン制御解析ソフトウェア)

各種3D測定

表面形状 (粗さ) 、形状、段差

圧倒的な高さ測定ダイナミックレンジ

0.1nm~19mm

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この製品について

■特徴・大型基板の自動測定に対応するハイエンドモデル
・電動機能 (内部レンズ交換、対物レンズ交換、光量調整、焦点調整、スキャン量調整) 
・300mm自動XYステージ  (エンコード制御) 
・電動傾斜調整ヘッド
・クローズドループ制御により高い測定再現性を実現
・試料に合わせた測定モードを標準搭載
・2種類の高輝度LEDで反射率の異なる素材にも適応
・豊富なオプション群から必要な機能を拡張可能

■オプション・高機能ピエゾスキャナー：分解能0.01nmRMS再現性0.04nm
・リファレンスシグナル  (リアルタイム) ：内部レーザーによる自己校正

■オプション部品タレット対応対物レンズ 標準対物レンズ：2.5X、5X、10X、20X、50X、115X、光学ズームレンズ：0.55X、0.75X、1.5X、2X。シングル対応対物レンズ 対物レンズアダプタ、低倍干渉対物レンズ：1.5X、長作動干渉対物レンズ：2XLWD、5XLWD、10XLWD、環境対応レンズ  (TTM型) レンズ：2XTTM、5XTTM、10XTTM、20XTTM

■装置のアップグレードリアルカラーイメージングシステムの追加が可能です。干渉計測によって得られた高さ情報に加え、リアルカラー情報を同時に取得します。顕微鏡視野内で色の異なる表面の計測においてリアルカラーシステムは優れた性能を発揮します。

型番
Contour GT-X

シリーズ
3次元白色光干渉顕微鏡 Contour GT-X

取扱企業
三弘エマテック株式会社

カテゴリ

観察機器

微分干渉顕微鏡

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年9月6日にレビュー済み

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3次元白色光干渉顕微鏡 Contour GT-X Contour GT-Xの性能表

商品画像	価格 (税抜)	メーカー	測定方式	垂直分解能	段差再現性	使用光源	最大測定速度	最大測定レンジ	CCDカメラタイプ	XYステージサンプル	Zステージ	Zサンプルスペース	傾斜調整	制御・解析ソフトウェア Vision64基本機能	各種3D測定	圧倒的な高さ測定ダイナミックレンジ
	要見積もり	ブルカージャパン (株)	USI方式、VSI方式、PSI方式	<0.01mm	<0.1%	高輝度LED (白色。緑色)	114μm/秒	最大10mm	標準型モノクロ 1200×1000画素、カラー (オプション)	300mm×300mm電動 (エンコーダー制御)	100mm電動	80mm	±6°電動メーションヘッド (コンピュータコントロール)	自動調整 (光量、範囲) 、2D解析、3D解析、マルチリージョン解析、オートフォーカス、スティッチング、ステージプログラム、Vision64Map (高機能オフライン制御解析ソフトウェア)	表面形状 (粗さ) 、形状、段差	0.1nm~19mm