■製品説明・分解能：M/△M=1M  (10% P.H.) 
・電源電圧: DC24V±10％ 50W
・最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時) : 120℃
・最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時) : 250℃
・使用温度範囲: 10～40℃
・インターフェース: Ethernet
・ソフトウェア: Qulee QCS Ver.4.2以降 (Windows 8/10/11) 対応
・適合規格: CE

■用途スパッタリング装置の残留ガス分析: スパッタリング装置で生成される残留ガスの分析に使用されます。これはプロセス制御や製品品質向上に役立ちます。プロセスモニタリング: スパッタリングプロセスのモニタリングに使用され、プロセスの安定性や品質管理を支援します。不純物  (H2O) 管理: 水分の不純物管理に使用され、水分の制御が重要なプロセスにおいて役立ちます。

スパッタリング装置のリークテスト: スパッタリング装置のリークテストに使用され、密封性や漏れの確認に役立ちます。

■特徴スパッタリングプロセスに最適: この装置はスパッタリングプロセスに最適に適用できる特徴を持っています。CGMはそのプロセスの監視や管理に役立ちます。Air Leak監視: 空気漏れを監視する機能が備えられています。これは製品やプロセスの品質管理に重要な要素です。残留水分管理: 残留水分の管理を行うことができます。水分の制御は多くの製造プロセスで重要です。

プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要: プロセスモニタリングにおいて、差動排気システムが不要で、非常に低い圧力 (1Pa以下) を測定でき、スペースの節約が可能です。

高感度リークテストが可能: 特に高感度のリークテストができ、CGM2-052モデルではこの機能が提供されています。リークテストは密封性の確認や品質管理に使用されます。全圧測定が可能: 圧力の全範囲で測定が可能です。表示部一体型の設計: パソコンが不要で、本体に表示部が一体化されているため、パソコンレスで測定が可能です。

型番
CGM2-101

シリーズ
ガス分析計：プロセスガスモニター CGM-2シリーズ

取扱企業
三弘エマテック株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

ガス分析計

試験機器

リークテスター

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ガス分析計：プロセスガスモニター CGM-2シリーズ CGM2-101の性能表

商品画像	価格 (税抜)	メーカー	質量分離方式	質量数範囲	検出器	感度	最小検知分圧	最大使用圧力	リニアリティ:	全圧測定機能
	要見積もり	(株) アルバック	四重極型質量分析計	1~100 amu	ファラデーカップ	0.1uA/Pa	1×10-7Pa	2Pa	1Pa	あり

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測定範囲 ppm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000

質量数範囲 amu

1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

分析時間秒

50 - 100 100 - 150

質量分解能 M/ΔM

0 - 1 1 - 2 2 - 3

動作温度範囲 ℃

-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150

電源・電圧 V

0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240 240 - 270

応答速度 sec

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50

使用ガス

ヘリウム窒素高純度水素精製空気酸素

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