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後工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ 「PLAZMARK®」ウエハ型 セラミックタイプ-株式会社サクラクレパス

PLW200SI | 後工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ 「PLAZMARK®」ウエハ型 セラミックタイプ
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ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段と同じハンドリングで、装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できます。放出ガスを低減し、清浄性を高めています。

■製品ラインナップの中でNo.1の耐熱性を持つ「セラミックタイプ」

無機色材のみをウエハ上に形成し、耐熱性を400℃まで高めました。高温プロセスでも安心してご使用いただけます。クリーンな設計でLEDやMEMSなどの工程に最適です。

■面内分布を簡単に評価

ウエハの面内均一性を目視で確認することができます。専用の色差計を使えば、目視では確認の困難な軽微な差も認識しマッピングにより直感的に面内均一性を評価することも可能に。

  • 型番

    PLW200SI

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後工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ 「PLAZMARK®」ウエハ型 セラミックタイプ PLW200SIの性能表

商品画像 価格 (税抜) 形状 耐熱性 構成 サイズ 入数 略号
後工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ 「PLAZMARK®」ウエハ型 セラミックタイプ-品番-PLW200SI 要見積もり ウエハ (Vノッチ) 400℃ 基板：シリコン
検知部：無機色材 		本体：Φ200mm
膜厚：10μm 		1枚 PLW200SI

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会社概要

株式会社サクラクレパスは総合文具、描画材のメーカーです。
大正10年に「日本クレィヨン商會」の社名で創業し、製品名「櫻クレィヨン」の製造と販売を開始しました。国花である“さくら”の名称と図柄を製品に冠したのは、...

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  • 本社所在地: 大阪府

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