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返答率
100.0%
返答時間
142.6時間
50~300mmウエハ用：高速アライメントが可能なアライナ ■特長 ・世界最高レベルのアライメント速度 ・石英ウエハにも対応可能
繰返し位置精度 高精細モード
XY: ±0.05mm θ: ±0.075°
繰返し位置精度 ノーマルモード
XY: ±0.2mm θ: ±0.1°
アライメント時間 高精細モード
Average 7.5sec.
アライメント時間 ノーマルモード
Average 3.5sec.
クリーン度
ISO Class 3 (ISO-14644)
必要諸源 電源
24 VDC 3A
繰返し位置精度
XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2°
アライメント時間
1.8sec.
必要諸源 真空
-80KPag or less, 10NL/min
型番
OFH-4100シリーズ
ウエハアライナ EG-303 シリーズ取扱企業
株式会社ダイヘン| 商品画像 | 価格 (税抜) | 適用ウエハサイズ mm | 繰返し位置精度 | アライメント時間 | クリーン度 | 本体質量 kg | 必要諸源 真空 | 必要諸源 電源 | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 |
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要見積もり | 200-300 | XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° | 1.8sec. | ISO Class 3 (ISO-14644) | 8 | -80KPag or less, 10NL/min | 24 VDC 3A | 15-25℃ | 60% or less (No condensation) |
