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SiC顕微観察装置 SCM-100-株式会社フォトサイエンス

SCM-100 | SiC顕微観察装置 SCM-100
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可動ステージ

40X40mm

XY可動距離

±6.5mm

観察倍率

16インチLCD上で約60~約200倍可変

カメラ

PENTAX Q-S1相当 (インターバル撮影可能、Cマウント、ACケーブル付)

レンズ

Canon ズームレンズ EF-S55-250mm F4-5.6 IS II

制御及びデータ処理

PC (LAN, USB端子付き) ／OS：Windows®7/8

試料冷却装置 (オプション)

冷却水循環装置 EYELA CCA-1112 ペルチェ温度コントローラ VTH-3500

直流安定化電源

テクシオPSW360L30Y1　最大電圧30V、最大電流36A (30V/12A-10V/36A)

シーケンス作成

CSV方式、USBメモリにて読み込み

ロギング機能

出力電圧・出力電流・ステータス情報をメモリに保存

この製品について

■概要

次世代パワー半導体として、電力損失半減、軽量化のためGaNやSiCが注目されています。SiCパワーデバイスの問題点として結晶欠陥がありますがこれを解決するためにSCM-100を用いることで迅速に観察、選別することができます。 　 SCM-100はあらかじめプログラムされた電流をSiC試料のトランジスタの内蔵ダイオードに印可する機能を持っています。電流印可時に電流が流れない箇所 (欠陥) は発光しないため顕微鏡に取り付けたカメラで撮影して欠陥を見つけることができる装置です。SiC試料表面は顕微鏡で拡大し、可視領域の発光をカメラでモニターして、欠陥の成長をその場観測することができます。 画像は最適なインターバルで撮影し保存することができます。オプションのペルチェ冷却水冷ユニットを用いるとSiCデバイス試料台の温度を80℃以下に保ちます。

■特長

・SiC試料の顕微鏡画像をカメラで撮影、リアルタイムLCD出力 ・撮影間隔3秒～24時間で最大撮影枚数999枚、SDカードに保存可能 ・出力電圧・出力電流・ステータス情報を最速0.1秒サンプリング可能 ・1台のPCで5台の電源を制御、データ保存可能 ・17インチ程度のLCDに出力させた場合、観察倍率は約60倍～約200倍 ・SiC試料の欠陥の成長をその場観察できる

■用途

SiCデバイス

■製品活用例

1つのソフトで最大5つの電源を管理し、同時スタートも可能です。Vmeas (V) やImeas (A) をリアルタイムで表示させることが可能です。結果はエクセルで保存されます。

  • 型番

    SCM-100

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SiC顕微観察装置 SCM-100 SCM-100の性能表

商品画像 価格 (税抜) 可動ステージ XY可動距離 観察倍率 カメラ レンズ 制御及びデータ処理 試料冷却装置 (オプション) 直流安定化電源 シーケンス作成 ロギング機能 オプション
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