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アクティブ軸
XY
X方向の移動範囲、開ループ、-20～120V
120μm
Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120V
120μm
ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)
±5μrad
ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)
±5μrad
ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)
±20μrad
ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)
±10μrad
解像度、開ループ
0.2nm
ドライブタイプ
ピクマ®
電気容量
1.5μF
X方向の剛性
0.2N/μm
Y方向の剛性
0.2N/μm
Y方向の共振周波数、無負荷
270Hz
Y方向の共振周波数、30gの荷重下
225Hz
Y方向の共振周波数、100gの荷重下
165Hz
X方向の許容押付け力
15N
Y方向の許容押付け力
15N
X方向の移動範囲
100μm
Y方向の移動範囲
100μm
直線性誤差
0.10%
再現性
<10nm
統合センサー
SGS、間接位置測定
システム解像度
2nm
Z方向の移動範囲、開ループ、-20～120V
120μm
ヨー (Z方向の動きを伴うθX方向の回転クロストーク)
±10μrad
ピッチ (Z方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)
±10μrad
Z方向の移動範囲
100μm
型番
P-611.XZ0取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲、開ループ、-20～120V | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | Z方向の移動範囲、開ループ、-20～120V | ヨー (Z方向の動きを伴うθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (Z方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | 解像度、開ループ | ドライブタイプ | 電気容量 | X方向の剛性 | X方向の共振周波数、無負荷 | Xの共振周波数、30gの荷重下 | Xの共振周波数、100gの荷重下 | X方向の許容押付け力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | XY | 120μm | ±5μrad | ±5μrad | ±20μrad | 120μm | ±10μrad | ±10μrad | 0.2nm | ピクマ® | 1.5μF | 0.2N/μm | 365Hz | 280Hz | 185Hz | 15N |
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最大搭載質量 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000最大回転速度 rad/sec
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4繰り返し精度 mm
0 - 0.1 0.1 - 0.3 0.3 - 0.5最大許容偏負荷モーメント N・m
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,000質量 kg
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 10,000テーブル軸最大許容偏負荷モーメント N・m
0 - 500 500 - 1,000傾斜軸最大許容偏負荷モーメント N・m
0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 4,000最大傾斜速度 rad/s
1 - 2 2 - 3
