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株式会社FKDファクトリ
研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series
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基本仕様：DC1源スパッタ ■拡張オプション ・2源仕様マグネトロンカソード追加 ・高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ・反応性スパッ...
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