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4~12インチのノンパターンウェハーに対応した異物検査装置で、パワー・ロジックデバイスの製造過程での各種装置のパーティクル管理に適...
ナノ・ソルテック株式会社
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欠陥レビューに欠かせない光学式の高性能顕微鏡です。欠陥検査装置で検出した欠陥の位置座標を取り込み、高性能顕微鏡によって異物や欠...
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■DMS (欠陥管理システム) 点検・設備の各種データを分析・管理するシステム 欠陥検出したデータを効率よく管理することができるシステム...
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