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X線膜厚測定機 膜密度組成測定装置 K-MSX-株式会社菱光社
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株式会社菱光社

X線膜厚測定機 膜密度組成測定装置 K-MSX

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■概要 300mmまでの半導体プロセスウエハや200mm□までの試料を非破壊かつ絶対膜厚・密度測定、組成評価が可能な装置です。 ■特長 ・X線反射率ユニット、蛍光X...


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