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菱光社のX線分析装置

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蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX-株式会社菱光社

株式会社菱光社

蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX

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100.0% 返答率

52.9時間 返答時間

■概要 300mmまでのウエハに対応した全反射蛍光X線装置。半導体ウエハ等の金属汚染を評価する装置です。 ■特長 測定元素Na～Uまでを対象とし、マッピング機能...


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