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使用用途

#研究開発

#保護膜

成膜環境

イナートガス雰囲気型

特徴機能

自動制御型

クリーン対応型

基板加熱温度 ℃

100 - 500

膜厚分布 %

1 - 5

ハイソルの蒸着装置

2 点の製品がみつかりました

2 点の製品

ハイソル株式会社

卓上型真空ベーク・HMDS蒸着装置 310TA

660人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

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本装置はHMDS (ヘキサメチルジシラザン) の蒸着成膜 (ベーパープライミング) に特化しており、装置の各種パラメータはあらかじめHMDS専...


ハイソル株式会社

卓上型真空ベーク・HMDS蒸着装置 58TA

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29.2時間 返答時間

本装置はHMDS (ヘキサメチルジシラザン) の蒸着成膜 (ベーパープライミング) に特化しており、装置の各種パラメータはあらかじめHMDS専...


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