アリオスの蒸着装置

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アリオス株式会社

MBE装置

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■概要 アリオスは、MBE装置の製造に20年以上の実績を有するプロ集団です。アリオスのMBE装置は、基板サイズ1”~6”、Ⅲ-Ⅵ族に対応。お客様の要求仕様に応じた...


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アリオス株式会社

粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置

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■概要 本装置は、試料の表面に均一に成膜させるため、ドラム型の試料ホルダに試料を入れ、回転させながら成膜を行います。試料ホルダの回転運動により試料を...


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