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株式会社MPS
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■概要 100kWの直進銃を搭載したEBPVD装置です。新しい断熱膜の研究開発用として使用していただいています。
株式会社MPS
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■概要 抵抗加熱式の蒸着装置です。小規模の光学膜生産用としてお使いいただいています。
