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フジ・インバックの真空ポンプ

23 点の製品がみつかりました

23 点の製品

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フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Light Duty Applications コンパクト A100L / A200L

10人以上が見ています

最新の閲覧: 19時間前

■アプリケーション ・ロードロックチャンバー ・トランスファーチャンバー ・半導体製造 ■特長 ツールまたは工場のサブフロアに直接設置するように設計され...


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フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Medium Corrosive Applications A3Pシリーズ

最新の閲覧: 12時間前

■アプリケーション ・エッチング ・インプラント ・PVD ■特長 A3P シリーズのドライポンプは、内部は腐食性ガスに強い構造となっており、温度センサーと不活...


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フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Medium Corrosive Applications A4Hシリーズ

10人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

■アプリケーション ・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED ■特長 A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループットと改善された粉体耐...


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フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Extremely Duty Applications A4XNシリーズ

最新の閲覧: 13時間前

■アプリケーション ・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED ■特長 A4HおよびA4Xシリーズがもつすべての技術的利点を備えたA4XNシリーズは、...


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フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ

最新の閲覧: 13時間前

■アプリケーション ・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED ■特長 A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループットと改善された粉体耐...


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フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Light Duty Applications 産業用途 ACP120G / ACG600G

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最新の閲覧: 13時間前

■アプリケーション ・コーティング産業 ・R&D ・フリーズドライ ■特長 工業用途や研究開発用途だけでなく、粒子やオイル汚染が問題になる場合に最適です。A...


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フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications ADHシリーズ

最新の閲覧: 13時間前

■アプリケーション ・ALD ・エピタキシャル成長 ・EUV ・太陽光発電 (a-Si、µSi PECVD等) ・LED (MOCVD GaN等) ■特長 ADH シリーズの最大の利点の1つは、...


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フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) ATH-M/ATPシリーズ

最新の閲覧: 5時間前

■アプリケーション ・ガラスコーティング ・半導体プロセス ・フラットパネルディスプレイ製造   (LED・OLED) ・ロードロック用途 ・太陽光発電 ■特長 ATH...


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フジ・インバック株式会社

ルーツポンプ スタンダードバージョン HiLobe® シリーズ (標準型ルーツポンプ)

最新の閲覧: 9時間前

■概要 低・中真空用途のインテリジェントな高性能ルーツポンプです。インテリジェントでフレキシブル 革新的なHiLobe®シリーズのルーツポンプは、個別の速度...


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フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace®シリーズ

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最新の閲覧: 7時間前

■アプリケーション ・分析 ・表⾯観察 ・研究 ■特長 ・トップレベルの基本性能 (排気速度、軽ガス圧縮比) ・堅牢なハイブリッドベアリング構造を採用 ・任...


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フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace® Cシリーズ (耐腐食モデル)

10人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

■アプリケーション ・コーティング ・半導体プロセス ・電子ビーム溶接  ■特長 ・ポンプローターにKepla®コーティングを採用 ・軽ガス、重ガスともに高い排...


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ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace® ITシリーズ (イオン注入装置向けモデル)

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最新の閲覧: 5時間前

■アプリケーション ・イオン注入 ■特長 ・軽ガス排気に特化 ・ニッケルコートローターにより高耐性を実現 ・温度管理システム※により結露や堆積物を低減 (※...


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ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace® Hシリーズ (高圧縮比モデル)

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最新の閲覧: 17時間前

■アプリケーション ・分析 ・表⾯観察 ・研究 ■特長 ・業界最高クラスのH2圧縮比 (1×107 ※HiPace300Hの場合) ・UHVアプリケーションに特化 ・任意方向 (360...


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ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) HiPace Mシリーズ

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最新の閲覧: 9時間前

■アプリケーション ・ハイエンド電子顕微鏡 ・残留ガス分析 ・光学コーティング ・プラズマ研究 ・バイオテクノロジー ・医療技術 ・半導体応用 ・薄膜技術 ...


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フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace® Pシリーズ (プロセス装置向けモデル)

10人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

■アプリケーション ・コーティング ・半導体プロセス ・電子ビーム溶接 ■特長 ・ポンプローターにKepla®コーティングを採用 ・任意方向 (360度方向) への設...


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フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace® Plusシリーズ (低振動モデル)

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■アプリケーション ・分析 ・表⾯観察 ・研究 ■特長 ・低振動 ・低漏洩磁場 ・SEMやTEMなどの分析装置に理想的


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フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace® シリーズ (電子ユニット分離モデル)

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最新の閲覧: 5時間前

■アプリケーション ・放射線環境 ・高磁場環境 ■特長 ポンプ本体から電子ユニットを切離すことで、放射線環境や省スペース環境に最適


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フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace® Neoシリーズ (次世代型) HiPace® 80 Neo

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最新の閲覧: 54分前

■アプリケーション ・分析 ・表⾯観察 ・研究 ■特長 ・レーザーバランシングを搭載することで約20%振動減 (従来機比) ・新オイルTL022を採用。耐熱性の向上...


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ルーツポンプ Oktaシリーズ (標準ルーツポンプ)

最新の閲覧: 8時間前

■概要 頑丈なOktaLine®ポンプは、145〜27,400 m3/hの範囲の排気速度を提供します。自然冷却のため、運用コストは水冷式ポンプよりも大幅に削減。実績のあるル...


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フジ・インバック株式会社

ルーツポンプ Okta シリーズ (ATEXルーツポンプ)

最新の閲覧: 13時間前

■概要 爆発の可能性のある環境でのプロセス、または爆発性ガスを排出するために、最高レベルの防爆要件を満たす指令2014/34/EUに準拠したATEX認定のマグネッ...


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フジ・インバック株式会社

ルーツポンプ Okta Gシリーズ (高圧縮型ルーツポンプ) Okta 8000 G

10人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

■概要 従来のルーツポンプの特別バージョンのガス循環冷却ルーツポンプです。気圧に対して250〜12,000 m3/hの排気速度を達成します。ガス循環冷却ルーツポン...


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フジ・インバック株式会社

ルーツポンプ CombiLine™シリーズ (ルーツポンプ排気システム)

最新の閲覧: 6時間前

■概要 ルーツポンプ排気システムは、特に低真空と中真空の間の移行範囲で、高い排気速度を提供します。CombiLine™は、さまざまなバッキングポンプ、形状、ア...


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フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Light Duty Applications 空冷式 ACPシリーズ

10人以上が見ています

最新の閲覧: 20時間前

■アプリケーション ・表面観察 ・リークディテクタ― (バックポンプ) ・プラズマクリーニング ・真空コーティング ・クライオポンプ再生 ■特長 モジュール内...


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