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11 点の製品
キヤノンアネルバ株式会社
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3極型イオンポンプ (ノーブルポンプ) とチタンサブリメーションポンプを組み込んだ完全オイルフリーの真空ポンプです。 コンビネーションポンプでは、チタン...
キヤノンアネルバ株式会社
イオンポンプ/ノーブルポンプは磁場中で冷陰極放電を起こすことで排気を行う完全オイルフリーの超高真空用ポンプです。 イオンポンプ・ノーブルポンプは、磁...
キヤノンアネルバ株式会社
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低圧力での放電特性改良、高効率なベーキング、NEGポンプによって、超高真空領域での排気性能を改善した完全オイルフリーの真空ポンプです。 チタンサブリメ...
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排気速度15 L/min~500 L/minまでの幅広いレンジを揃え、独自オイル供給機構等により振動・騒音が抑制されています。 エドワーズ社の直結型ロータリポンプは...
キヤノンアネルバ株式会社
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排気速度600 L/min~5,000 L/minが用意されています。堅牢設計と各種アクセサリで高い性能と信頼性を発揮します。 エドワーズ社の堅牢設計ロータリポンプに...
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小型・軽量省エネルギー化を実現したライトプロセス用のルーツ型ドライポンプです。 世界最小サイズ、最小水準の省エネルギーを実現したライトプロセス用ル...
キヤノンアネルバ株式会社
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多段ドラッグステージを備えマルチステージで高圧縮比を実現したハイブリッドベアリング (マグネットとセラミック) 構造のターボ分子ポンプです。 nEXTター...
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独自のベアリングシールド構造による完全オイルフリーの実現で、水蒸気によるベアリンググリース劣化防止、メンテナンスサイクルを長期化します。 エドワー...
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マルチ運転での温度安定性の向上を実現したクライオポンプです。自己発熱機能を使用することにより安全な高速再生を実現します。 POWERシリーズクライオポン...
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ターボ分子ポンプと背圧ポンプを組み合わせた排気ユニットで、ボタン一つで始動から停止までを制御できます。 T-Station85は、nEXT85Hターボ分子ポンプとド...
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パワーシリーズクライオポンプの性能に加え、冷凍機の高効率化により省エネ性能をさらにアップさせたクライオポンプです。 POWERECOシリーズクライオポンプ...
キヤノンアネルバの真空ポンプ11製品中の注目ランキング
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