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エピクエストの真空炉

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株式会社エピクエスト

SiC用超高温プロセス炉

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■特徴 ・6インチまで対応 ・高温成長可能 (MAX2,200℃) ・急速昇温可能 (1,000℃→2,000℃まで1分以内) ・カーボンフリー ・超高真空仕様 (極低リークレート) ...


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