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使用用途

#焼鈍

#脱ガス

加熱方式

抵抗加熱型

真空到達度

高真空型

特殊機能

ガス置換型

急速昇降温型

到達真空度 Pa

0 - 0.1

アリオスの真空炉

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1 点の製品

アリオス株式会社

真空アニール装置

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■装置概要 本装置は3"~8"基板及び、真空部品などを真空中で200~600℃まで加熱するための高真空加熱装置 (アニール炉) です。イオンビー...




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