タツモのUV照射器

タツモ株式会社のUV照射器4製品が登録されています。 タツモのその他の取扱カテゴリーには、洗浄装置搬送機器半導体検査装置などがあります。

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タツモ株式会社

Quark紫外線照射装置 Excimer Lamp 172nm エキシマ照射装置 フラットタイプ

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■アプリケーション例 ・フォトマスク検査前除電 ・ウェハ除電 (回路破損防止) ・ガラス表面有機物除去 (ドライクリーニング) ・コート前表面改質 (密着性向...


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タツモ株式会社

Quark紫外線照射装置 Excimer Lamp 222nm 除菌用紫外線ライト「eVIO」-エヴィオ-

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eVIOは、紫外線本来のウィルス抑制・除菌能力を保持したまま、人や動物の身体への影響を抑える先進技術によって、従来の紫外線波長では不可能だった有人環境...


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タツモ株式会社

Quark紫外線照射装置 UV-LED照射装置 面照射型ユニット (SQ/CIシリーズ)

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■アプリケーション例  ・レジスト硬化 ・ナノインプリント硬化 ・ダイシングテープ剝離 ・貼り合わせUV硬化 ・ブリーチング ・分光/検査用光源 ■UV-LED導入...


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タツモ株式会社

Quark紫外線照射装置 UV-Laser

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■アプリケーション例 ・レーザーリフトオフ (WLP , PLPなど) ・フレキシブル材微細加工 (PI,銅など) ・マイクロビアホール穿孔 ・ファイバーブラッググレー...


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