タツモの搬送機器
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6 点の製品がみつかりました
タツモ株式会社
クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル
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最新の閲覧: 13時間前
本製品は、PLPに特化したシングルアームロボットになります。 ■製品特徴 ・ワークサイズ：最大650mm角基板まで対応しております。 ・最大到達距離：1500mmま...
タツモ株式会社
クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 大気用クリーンロボット
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最新の閲覧: 20時間前
本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。 ■製品特徴...
タツモ株式会社
クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット
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最新の閲覧: 1日前
本製品は、Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。 ■製品特徴 ・3FOUP...
タツモ株式会社
クリーン搬送システム 大気搬送ロボット ステッピングモーター仕様 フリーアクセスロボット
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最新の閲覧: 21分前
本製品は、Φ300mmウエーハに対応した搬送ロボットです。 ■製品特徴 ・マッピングセンサーも用意しております。 ・最適ソフトウェアにより最適旋回スペースを...
タツモ株式会社
クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 裏面吸着式 MAF-RAシリーズ
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最新の閲覧: 1日前
本製品は非接触にて、ウェーハのオリフラ合わせセンターリングを高速で行うユニットです。 ■製品特徴 ・ウェーハセンタリング、角度合わせを持ち替えなしで...
タツモ株式会社
クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 エッジホールド式 MAF-Sシリーズ
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裏面非接触でウェーハへのパーティクル汚染を最小限に抑えた300mm対応のメカクランプ方式のアライナーです。 ■製品特徵 ・化合物半導体・ガラスにも対応可能...
