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株式会社菱光社
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■概要 AL120ウェハローダは小径から200mmまでのウェハサイズに対応した、シリコン・化合物ウェハをカセットから顕微鏡ステージに搬送する装置です。極薄化す...
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■概要 さまざまなウェハが搬送できる信頼性に優れた高機能ローダ光学顕微鏡と組み合わせたミクロ検査、目視によるマクロ検査が可能なウェハローダです。200mm...
