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■非接触厚み測定システム レーザ変位センサを2台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。自動ステージシス...
コムス株式会社
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■ウェハ厚み測定システム ウェハの厚み測定を非接触・高精度・簡便に行うことができるシステムです。専用ソフトによる簡単な設定で高精度な位置決めと非接触...
