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アルネアの厚み測定器

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株式会社アルネア

光計測器・制御器 Siウェハ厚み測定器

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【概要】 ・シリコン基板の厚みを高感度でリアルタイム測定 ・干渉計測のために高純度の波長可変光源を高速掃引 ・波長掃引方式のため、...




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