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14 点の製品
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パターンマッチ機能搭載、X-Y位置決め精度2um以下のシステムです。 ■特長 ・Φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対...
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カラーフィルタの光学特性検査やガラス基板上膜の膜厚検査など FPD生産工程中のあらゆる検査に最適です。 ■特長 ・透過スペクトル測定...
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MCPD seriesインラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊での膜厚、濃度、色などの検査が可能です。測定可能膜厚範囲...
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当社のMCPD seriesは、フレキシブルファイバーを採用することにより、In-Situからインラインまで様々な場所や用途への組込みが可能にな...
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OPTM (オプティム) は、顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。各種フィル...
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顕微分光膜厚計OPTM seriesの高精度、微小スポットを生かし、ウェーハのパターン作成後の微小エリア測定など、インラインで膜厚情報を提...
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高精度で持ち運び可能な膜厚計。 ・「測りたい“その場”ですぐに測れない」 ・「人によってバラつく測定結果」 ・「測定精度が悪い」 ...
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インラインでのフィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚...
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■特長 半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。独自の分光干渉法と新たに開発した高精度...
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フィルムなどの研究開発や品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な装置です。全面を高速かつ高精度に測...
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ウェーハ等の研削研磨プロセスにおいて、非接触でウェーハや樹脂の厚みを超高速・高精度に測定を行います。 ■特長 ・光学式により非接...
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波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現。 ■特長 ・分光干渉法を用いた膜厚計 ・高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載 (特許 第48348...
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高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの...
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ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度に測定します。 ■特長 ・非接触、非破壊で厚み測...
大塚電子の厚み測定器14製品中の注目ランキング
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