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3 点の製品
株式会社エーティーエー
■特徴 高倍率観察に必要なCr (粉状性) のスパッタが可能。特殊シャッター機能により試料の熱損傷を抑制。排気ポンプによる内外へのオイル汚染無し。 ■オプシ...
株式会社エーティーエー
■特徴 全方位揺動 (ギンブルモーション) ステージにより回り込みが良いコーティングが可能。完全ドライ排気により試料の汚染防止 (ターボ分子ポンプ+ダイヤ...
株式会社エーティーエー
■特徴 ロータリーポンプを内蔵し、卓上型にしたことで、小スペース化を実現。簡単操作で、排気からコーティング完了まで自動で対応。真空度が分かりやすいよ...
エーティーエーのスパッタリング装置3製品中の注目ランキング
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